蚀刻液是指通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体,目前已经使用的蚀刻液类型主要有六种类型:酸性氯化铜、碱性氯化铜、氯化铁、过硫酸铵、硫酸/铬酸、硫酸/双氧水蚀刻液。其中氯化铁蚀刻液的刻蚀速度主要受刻蚀温度、盐酸含量和铁离子含量的影响。其中蚀刻液中Fe的含量对其刻蚀速度的影响主要是,随着浓度逐渐增加,对铜的蚀刻速率相应加快。但当所含超过某一浓度时,由于溶液粘度增加,蚀刻速率反而有所降低。本次实验采用T960全自动电位滴定仪按照其电位突跃点确定终点,测定其三价铁的含量,并验证实验方案的可行性。
T-2797-202301-蚀刻液中铁离子含量的测定.pdf
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